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常見的真空爐是由主機、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統、供電系統、控溫系統和爐外運輸車等組成。真空爐保溫密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成,可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質,爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內。根據爐子用途,爐膛內部裝有不同類型的加熱元件,如電阻、感應線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝,有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。真空系統主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。