真空系統檢漏時，除臨時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。

碳纖維復合材料的成型工藝多達數十種，其中熱壓罐工藝是應用較多、最為常見的一種成型方式。將碳纖維預浸料按鋪層要求鋪放于模具上，將毛坯密封在真空袋后放置于碳纖維熱壓罐中。在真空狀態下，經過熱壓罐設備升溫、加壓、保溫、降溫和卸壓等程序，利用熱壓罐內同時提供的均勻溫度和均布壓力實現固化，從而可以形成表面與內部質量高、形狀復雜、面積巨大的碳纖維復合材料制件。

硬質復合氈保溫筒，主要用于真空燒結爐、硬質合金燒結爐等，夾層或雙面均可貼石墨紙，強度高、保溫效果好、壽命長！適用溫度為1300-2600度！采用炭纖維布、柔性石墨紙、炭氈或石墨氈材料經特殊工藝粘合、固化、定型，二次高溫熱處理制得，具有一定的形狀保持性、自支撐性、比重小、無短纖脫落、熱導系數低、抗熱震性、耐燒蝕、使用壽命長便于安裝拆除。適用于真空高壓氣淬爐、真空燒結爐、加壓真空燒結爐。貼面材料主要有布基和紙基兩種。

真空爐保溫的加熱元件有金屬和非金屬之分，分別敘述如下。碳纖維金屬加熱元件 通常分為兩種：一種為貴重金屬，如鉬、鉑、鎢、鉭等;另一類為一般金屬，如鎳鉻耐熱合金、鐵鉻鋁合金、鉬鎢合金等。非金屬加熱元件 有石墨和化合物兩種。定做碳纖維化合物有碳化硅、硅化鉬、二氧化鉬等。其中碳化硅在高溫下易黏結分解，而二氧化鉬在1300℃時會軟化。只有石墨具有加工性能好、耐高溫、耐急冷急熱性好、塑性好、輻射面積大、抗熱沖擊性能好等特點，適于制作加熱元件。