真空系統檢漏時，除臨時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。

碳纖維硬氈是利用聚丙烯原絲經特殊加工而成的高級纖維材料，是生產加工高級碳纖維復合材料的基本原料，廣泛應用于航天、航海、冶金工業、體育用品等工業領域。聚丙烯晴基碳纖維氈，碳氈采用聚丙烯晴纖維為原料，針刺成原氈，經過預氧、碳化、高溫處理而成。 本產品具有熱容量小、導熱系數度、導電系數高、保溫絕熱性能好、重量輕、質地柔軟。可快速升溫、降溫、急冷、急熱、不變形，特別是在高溫條件下，性能穩地，抗化學腐蝕性強，抗震性能好，可節省大量能源，易于加工成任何形狀，便于在各種設備中安裝使用，在真空和惰性氣氛下，最高使用溫度1800-2500度，是各種真空爐理想的隔熱真空爐保溫材料。有極好的導電性能，作為電極被廣泛應用在黃金富集的應用方面。

石墨氈因選用原氈的不同分為瀝青基石墨氈、聚丙烯腈基（PAN基）石墨氈和黏膠基石墨氈三種，主要用途是作為單晶硅冶煉爐的保溫、隔熱材料。在化學工業中可作為高純度腐蝕性化學試劑的過濾材料。工藝將聚丙烯腈基炭氈或黏膠基炭氈裁成所需尺寸，卷成筒狀裝入石墨材料做的容器內，將石墨容器置于高溫爐內(高溫爐為石墨管爐、中頻、高頻感應爐或其他加熱形式的高溫爐)，用抽真空或通高純惰性氣體保護，以100～300℃/h的升溫速率加熱到2200～2500℃，再自然冷卻至100℃即得。

碳纖維硬氈經磨碎及短切后，可用于制做各種碳纖維深加工制品，或者直接活化后制成ACF過濾制品。可以用于各種樹脂、涂料、橡膠、水泥等材料中，碳纖維硬氈具有良好的導電效果，同時使產品的強度、耐磨性能得到大大提高，是其它導電材料的理想替代產品。也可用于制作保溫、阻燃、耐磨、密封和抗靜電復合材料及針刺無紡氈。

碳纖維硬氈保溫材料具有優異的保溫性能且使用壽命長，尤其在高溫下，在真空或者惰性氣體中使用時，耐熱溫度可達2400℃。真空爐斷熱此外，產品具有自重輕，低熱膨脹系數，低吸熱性，低放氣量等特性，在高端設備領域正在被越來越廣泛的使用。定制真空爐斷熱應用領域：工業真空爐、高純硅氫化爐、藍寶石、光纖的結晶爐、單晶硅生長爐、多晶硅鑄錠爐。