真空系統檢漏時，除臨時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。

真空淬火（回火、退火）就是通過把材料或零件在真空狀態下按工藝規程加熱、冷卻來達到預期性能的一種處理方法。真空釬焊即在真空狀態下，把一組焊接件加熱到填充金屬熔點溫度以上，但低于基體金屬熔點溫度，借助于填充金屬對基體金屬的濕潤和流動形成焊縫的一種焊接工藝。（釬焊溫度因材料不同而異）真空燒結即在真空狀態下，把金屬粉末制品加熱，使相鄰金屬粉末晶粒通過粘著和擴散作用而燒結成零件的一種方法。真空加磁主要適用于金屬材料加磁處理。

為了保證粉末成形坯在燒結過程中的脫蠟(潤滑劑或成形劑)、還原、燒結、合金化、致密化等順利進行，燒結時需要對燒結溫度、保護氣氛、坯件傳送速度、加熱和冷卻速度等進行調節和控制。工業爐保溫材料燒結爐在結構和功能上應滿足以下五點要求：升有完善的脫蠟裝置或脫蠟帶；具有氣密性，即能隔絕爐外空氣并保證爐內保護氣氛暢通；爐內的各段溫度可控，各段氣氛可調。工業爐保溫材料廠家對于連續燒結爐，具有傳送裝置并且傳送速度可調；具有快速冷卻裝置，可將燒結零件快速冷卻到可以出爐的溫度。

與低溫(900度以下)處理碳氈相比，高溫（2200度以上）處理石墨氈具備以下優勢：石墨氈吸附性小，對水蒸氣等氣體的吸附比低溫處理碳氈低2個數量級。對于很多需要抽真空的封閉容器設備來說，氣氛的純凈度是很關鍵的參數，而低溫處理碳氈由于吸附性大而導致容器內抽真空很難抽干凈.。石墨氈抗熱氧化能力強。未經石墨化的炭材料結構是一種亂層結構，各種結構缺陷的存在使得其層面間距較大，容易受到氧原子的進攻而被氧化。而高溫處理過的石墨氈完善的晶格和有序的三維排列使層面間距大大縮小，不易受到氧原子的進攻，因而大大增強抗氧化能力。石墨氈純度高，炭含量在99.5%以上，不會對被處理工件造成污染。而低溫處理碳氈炭含量一般低于93%，容易造成爐內環境污染。總而言之，高溫處理石墨氈比低溫碳氈使用效果更佳，使用壽命更長。