真空爐保溫的加熱元件有金屬和非金屬之分，分別敘述如下。金屬加熱元件 通常分為兩種：一種為貴重金屬，如鉬、鉑、鎢、鉭等;另一類為一般金屬，如鎳鉻耐熱合金、鐵鉻鋁合金、鉬鎢合金等。非金屬加熱元件 有石墨和化合物兩種。化合物有碳化硅、硅化鉬、二氧化鉬等。其中碳化硅在高溫下易黏結分解，而二氧化鉬在1300℃時會軟化。只有石墨具有加工性能好、耐高溫、耐急冷急熱性好、塑性好、輻射面積大、抗熱沖擊性能好等特點，適于制作加熱元件。

真空爐保溫的溫度控制系統采用控溫精度為百分之零點一的智能化溫度控制儀表，按產品工藝曲線編制計算機控制程序控制真空爐的升溫、保溫、降溫過程、溫度控制儀表的運行，停止由PC機自動控制，實現工藝曲線溫度控制的技術要求。溫度控制系統可設定，存貯多條控溫曲線，每條曲線可分為多段控制，每條溫控曲線均具有任選的PID參數，自調諧功能，以保證升溫無超調，系統可適合多種分度號熱電偶和預先設定升溫保溫曲線。溫控儀輸出4-20mA電流信號給觸發單元，觸發單元把電流信號變為電壓信號，其輸出控制勵磁回路的直流電壓電流，從而控制了磁調的電壓電流，保證真空爐按設定的曲線加熱和保溫。完成溫度控制，真空下溫度的傳感和控制技術是真空熱處理工藝及裝備的關鍵技術之一，使用真空爐的過程須好好掌握。

工業化生產碳纖維按原料路線可分為聚丙烯腈 (PAN)基碳纖維、瀝青基碳纖維和粘膠 基碳纖維三大類。碳纖維硬氈從粘膠纖維制取高力學性能的碳纖維必須經高溫拉伸石墨化，碳化收率低，技術難度大、設備復雜，成本較高，產品主要為耐燒蝕材料及隔熱材料所用；由瀝青制取碳纖維，原料來源豐富，碳化收率高，但因原料調制復雜、產品性能較低，亦未得到大規模發展。碳纖維硬氈廠家由聚丙烯腈纖維原絲可制得高性能的碳纖維，其生產工藝較其它方法簡單，而且產品的力學性能優良，用途廣泛，因而自20世紀60年代問世以來，取得了長足的發展，成為當今碳纖維工業生產的主流。

真空淬火（回火、退火）就是通過把材料或零件在真空狀態下按工藝規程加熱、冷卻來達到預期性能的一種處理方法。真空釬焊即在真空狀態下，把一組焊接件加熱到填充金屬熔點溫度以上，但低于基體金屬熔點溫度，借助于填充金屬對基體金屬的濕潤和流動形成焊縫的一種焊接工藝。（釬焊溫度因材料不同而異）真空燒結即在真空狀態下，把金屬粉末制品加熱，使相鄰金屬粉末晶粒通過粘著和擴散作用而燒結成零件的一種方法。真空加磁主要適用于金屬材料加磁處理。