真空淬火（回火、退火）就是通過把材料或零件在真空狀態下按工藝規程加熱、冷卻來達到預期性能的一種處理方法。真空釬焊即在真空狀態下，把一組焊接件加熱到填充金屬熔點溫度以上，但低于基體金屬熔點溫度，借助于填充金屬對基體金屬的濕潤和流動形成焊縫的一種焊接工藝。（釬焊溫度因材料不同而異）真空燒結即在真空狀態下，把金屬粉末制品加熱，使相鄰金屬粉末晶粒通過粘著和擴散作用而燒結成零件的一種方法。真空加磁主要適用于金屬材料加磁處理。

石墨氈因選用原氈的不同分為瀝青基石墨氈、聚丙烯腈基（PAN基）石墨氈和黏膠基石墨氈三種，主要用途是作為單晶硅冶煉爐的保溫、隔熱材料。真空爐斷熱在化學工業中可作為高純度腐蝕性化學試劑的過濾材料。真空爐斷熱工廠工藝將聚丙烯腈基炭氈或黏膠基炭氈裁成所需尺寸，卷成筒狀裝入石墨材料做的容器內，將石墨容器置于高溫爐內(高溫爐為石墨管爐、中頻、高頻感應爐或其他加熱形式的高溫爐)，用抽真空或通高純惰性氣體保護，以100～300℃/h的升溫速率加熱到2200～2500℃，再自然冷卻至100℃即得。

真空系統檢漏時，除臨時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。

石墨具有良好的化學穩定性。經過特殊加工的石墨，具有耐腐蝕、導熱性好，滲透率低等特點，就大量用于制作熱交換器，反應槽、凝縮器、燃燒塔、吸收塔、冷卻器、加熱器、過濾器、泵設備。廣泛應用于石油化工、濕法冶金、酸堿生產、合成纖維、造紙等工業部門，可節省大量的金屬材料。作鑄造、翻砂、壓模及高溫冶金材料：由于石墨的熱膨脹系數小，而且能耐急冷急熱的變化，可作為玻璃器的鑄模，使用石墨后黑色金屬得到鑄件尺寸準確，表面光潔成品率高，不經加工或稍作加工就可使用，因而節省了大量金屬。生產硬質合金等粉末冶金工藝，通常用石墨材料制成壓模和燒結用的瓷舟。單晶硅的晶體生長坩堝，區域精煉容器，支架夾具，感應加熱器等都是用高純石墨加工而成的。此外石墨還可作真空冶煉的石墨隔熱板和底座，高溫電阻爐爐管，棒、板、格棚等元件。