真空系統檢漏時，除臨時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。

碳纖維具有高比強度、耐高溫、熱膨脹系數小等一系列優良特性，隨著科技的進步，真空爐保溫在新興產業中的應用越來越多，由于其對保溫材料的要求苛刻，碳纖維硬氈隔熱材料由于其優越熱工特性而成為高溫隔熱保溫的首選材料。高溫保溫材料碳纖維硬質保溫材料克服了軟氈硬化材料所存在的易分層開裂，使用壽命短等缺點，在高溫爐用隔熱保溫材料領域越來越受關注。定做高溫保溫材料成功掌握了碳纖維硬氈隔熱材料的生產工藝，產品在真空爐上取得了較好的應用效果。

石墨氈因選用原氈的不同分為瀝青基石墨氈、聚丙烯腈基（PAN基）石墨氈和黏膠基石墨氈三種，主要用途是作為單晶硅冶煉爐的保溫、隔熱材料。在化學工業中可作為高純度腐蝕性化學試劑的過濾材料。以下是炭纖維硬氈與石墨纖維硬氈的區別。炭纖維的炭化溫度只有一千多度，制成炭纖維硬氈后的使用溫度也就一千多度。炭纖維在隔絕空氣下加熱到近三千度就成了石墨纖維,制成石墨纖維硬氈后的使用溫度可以達到兩千多度。如果炭纖維硬氈用于兩千多度的保溫環境下會發生變化的。

石墨坩堝以天然鱗片石墨為主體原料，以可塑性耐火粘土或炭質為粘結劑加工而成，具有耐高溫、導熱性能強、抗腐蝕性能好，使用壽命長等特點。在高溫使用過程中，熱膨脹系數小，對急冷、急熱具有一定抗應變性能。對酸性、堿性溶液抗蝕性較強，具有優良的化學穩定性，在熔煉過程中不參與任何化學反應。石墨坩堝內壁平滑，被熔化的金屬液體不易滲漏和粘附在坩堝內壁，使金屬液體有良好的流動性和澆鑄性，適用于各種不同模具澆鑄成型。由于石墨坩堝具有以上優良特性，被廣泛用于合金工具鋼冶煉和有色金屬及其合金的冶煉。