真空系統檢漏時，除臨時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化定做石墨硬氈。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。石墨硬氈找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。

石墨氈因選用原氈的不同分為瀝青基石墨氈、聚丙烯腈基（PAN基）石墨氈和黏膠基石墨氈三種，主要用途是作為單晶硅冶煉爐的保溫、隔熱材料。在化學工業中可作為高純度腐蝕性化學試劑的過濾材料。工藝將聚丙烯腈基炭氈或黏膠基炭氈裁成所需尺寸，卷成筒狀裝入石墨材料做的容器內，將石墨容器置于高溫爐內(高溫爐為石墨管爐、中頻、高頻感應爐或其他加熱形式的高溫爐)，用抽真空或通高純惰性氣體保護，以100～300℃/h的升溫速率加熱到2200～2500℃，再自然冷卻至100℃即得。

碳纖維是一種新型碳材料，是二十一世紀社會發展和工業進步不可缺少的一種工業材料，它代表了一個國家材料科學發展水平。作為一種單體材料，碳纖維集多種優異性能于一體。包括力學性能：高比強度、高比模量、耐摩擦、抗蠕變；熱學性能：導熱、熱容量低、熱膨脹系數小；化學性能：耐高溫、耐腐蝕；電學、磁學性能。導電、電磁屏蔽性好、X射線透過性好等特點，可廣泛應用于摩擦材料、高溫保溫材料、高檔密封材料、防靜電材料、C/C復合材料的增強材料、電熱及建筑等領域。

硬質復合氈保溫筒，主要用于真空燒結爐、硬質合金燒結爐等，夾層或雙面均可貼石墨紙，強度高、保溫效果好、壽命長！適用溫度為1300-2600度！采用炭纖維布、柔性石墨紙、炭氈或石墨氈材料經特殊工藝粘合、固化、定型，二次高溫熱處理制得，具有一定的形狀保持性、自支撐性、比重小、無短纖脫落、熱導系數低、抗熱震性、耐燒蝕、使用壽命長便于安裝拆除。適用于真空高壓氣淬爐、真空燒結爐、加壓真空燒結爐。貼面材料主要有布基和紙基兩種。