真空系統檢漏時，除臨時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。

石墨氈因選用原氈的不同分為瀝青基石墨氈、聚丙烯腈基（PAN基）石墨氈和黏膠基石墨氈三種，主要用途是作為單晶硅冶煉爐的保溫、隔熱材料。在化學工業中可作為高純度腐蝕性化學試劑的過濾材料。工藝將聚丙烯腈基炭氈或黏膠基炭氈裁成所需尺寸，卷成筒狀裝入石墨材料做的容器內，將石墨容器置于高溫爐內(高溫爐為石墨管爐、中頻、高頻感應爐或其他加熱形式的高溫爐)，用抽真空或通高純惰性氣體保護，以100～300℃/h的升溫速率加熱到2200～2500℃，再自然冷卻至100℃即得。

碳纖維既有碳材料的固有特性，又兼備紡織纖維的柔軟可加工性，是先進復合材料最重要的增強材料，已在軍事及民用工業的各個領域取得廣泛應用，從航天、航空、汽車、電子、機械、化工、輕紡等民用工業到運動器材和休閑用品等。真空爐隔熱碳纖維被認為是高科技領域中新型工業材料的典型代表，為世人所矚目。碳纖維產業在發達國家支柱產業升級乃至國民經濟整體素質提高方面，發揮著非常重要的作用，對我國產業結構的調整和傳統材料的更新換代也有重要意義，對國防軍工和國民經濟有舉足輕重的影響。專業真空爐隔熱我國至今沒能實現大規模工業化生產，工業及民用領域的需求長期依賴進口，嚴重影響了我國高技術的發展，尤其制約了航空航天及國防軍工事業的發展，與我國的經濟社會發展進程極不相稱。

與低溫(900度以下)處理碳氈相比，高溫（2200度以上）處理石墨氈具備以下優勢：石墨氈吸附性小，對水蒸氣等氣體的吸附比低溫處理碳氈低2個數量級。對于很多需要抽真空的封閉容器設備來說，氣氛的純凈度是很關鍵的參數，而低溫處理碳氈由于吸附性大而導致容器內抽真空很難抽干凈.。石墨氈抗熱氧化能力強。未經石墨化的炭材料結構是一種亂層結構，各種結構缺陷的存在使得其層面間距較大，容易受到氧原子的進攻而被氧化。而高溫處理過的石墨氈完善的晶格和有序的三維排列使層面間距大大縮小，不易受到氧原子的進攻，因而大大增強抗氧化能力。石墨氈純度高，炭含量在99.5%以上，不會對被處理工件造成污染。而低溫處理碳氈炭含量一般低于93%，容易造成爐內環境污染。總而言之，高溫處理石墨氈比低溫碳氈使用效果更佳，使用壽命更長。