真空系統檢漏時，除臨時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。

碳纖維硬氈是利用聚丙烯原絲經特殊加工而成的高級纖維材料，是生產加工高級碳纖維復合材料的基本原料，廣泛應用于航天、航海、冶金工業、體育用品等工業領域。石墨氈聚丙烯晴基碳纖維氈，碳氈采用聚丙烯晴纖維為原料，針刺成原氈，經過預氧、碳化、高溫處理而成。 本產品具有熱容量小、導熱系數度、導電系數高、保溫絕熱性能好、重量輕、質地柔軟。可快速升溫、降溫、急冷、急熱、不變形，特別是在高溫條件下，性能穩地，抗化學腐蝕性強，抗震性能好，可節省大量能源，易于加工成任何形狀，便于在各種設備中安裝使用，在真空和惰性氣氛下，最高使用溫度1800-2500度，是各種真空爐理想的隔熱真空爐保溫材料。石墨氈廠家有極好的導電性能，作為電極被廣泛應用在黃金富集的應用方面。

真空爐保溫的溫度控制系統采用控溫精度為百分之零點一的智能化溫度控制儀表，按產品工藝曲線編制計算機控制程序控制真空爐的升溫、保溫、降溫過程、溫度控制儀表的運行，停止由PC機自動控制，實現工藝曲線溫度控制的技術要求。溫度控制系統可設定，存貯多條控溫曲線，每條曲線可分為多段控制，每條溫控曲線均具有任選的PID參數，自調諧功能，以保證升溫無超調，系統可適合多種分度號熱電偶和預先設定升溫保溫曲線。溫控儀輸出4-20mA電流信號給觸發單元，觸發單元把電流信號變為電壓信號，其輸出控制勵磁回路的直流電壓電流，從而控制了磁調的電壓電流，保證真空爐按設定的曲線加熱和保溫。完成溫度控制，真空下溫度的傳感和控制技術是真空熱處理工藝及裝備的關鍵技術之一，使用真空爐的過程須好好掌握。

石墨氈因選用原氈的不同分為瀝青基石墨氈、聚丙烯腈基（PAN基）石墨氈和黏膠基石墨氈三種，主要用途是作為單晶硅冶煉爐的保溫、隔熱材料。在化學工業中可作為高純度腐蝕性化學試劑的過濾材料。以下是炭纖維硬氈與石墨纖維硬氈的區別。炭纖維的炭化溫度只有一千多度，制成炭纖維硬氈后的使用溫度也就一千多度。炭纖維在隔絕空氣下加熱到近三千度就成了石墨纖維,制成石墨纖維硬氈后的使用溫度可以達到兩千多度。如果炭纖維硬氈用于兩千多度的保溫環境下會發生變化的。

增強復合硬氈、石墨硬氈（通用叫法也有叫碳纖維復合硬氈、固化氈等）是一種采用特殊工藝將石墨紙、聚丙烯腈基碳氈、聚丙烯腈基碳布全為一體，經固化成型后，一次、二次高溫處理制得，它的抗燒蝕性能、抗熱震性能、耐氣流沖刷和隔熱保溫性能都很優越。具有傳統保溫材料所不具有的剛性、自支撐性、高強度、無短纖脫落、熱導系數低等優點，主要用于真空、及各類冶金工業爐（單晶生長爐、多晶鑄造爐、多晶還原爐、多晶鑄錠爐、高壓氣淬爐、熱等靜壓爐、熱平衡爐、低壓燒結爐、加壓真空燒結爐等，?廣泛應用于國防、冶金、化工等行業。尤其是隨著多晶硅、單晶硅產業的高速發展，作為高溫爐熱場隔熱理想材料，優質硬質碳纖維氈的需求更是達到了前所未有的高度?。