真空爐維修好后的使用初期要經常進行檢查，檢查使用后的真空爐表溫度和爐子實際溫度是否一致，檢查三相加熱體是否存在過熱損傷情況、溫度不均或發白等現象。爐體內保溫材料對于三相高溫真空爐，以及真空電阻爐容量超過100kW時，每相、每一個加熱區都應安裝有電流表，發現真空爐溫與儀表指示不正常，及時分析處理。不能超負荷使用真空爐，真空爐保溫的使用溫度是指元件在真空中允許的本身表面溫度，并不是指加熱物質的溫度或加熱元件周圍的溫度。要注意真空電熱元件本身的溫度一股比它周圍的介質溫度或被加熱溫度高100℃。爐體內保溫材料工廠要避免加熱元件和產品發生反應，尤其足銅、鋁、鋅、錫、鉛等與真空加熱元件接觸，無論是細粉、熔液或蒸汽等，防止在電加熱體表面侵蝕形成“麻坑”，截面變小，最后過熱而燒斷。

石墨坩堝以天然鱗片石墨為主體原料，以可塑性耐火粘土或炭質為粘結劑加工而成，具有耐高溫、導熱性能強、抗腐蝕性能好，使用壽命長等特點。在高溫使用過程中，熱膨脹系數小，對急冷、急熱具有一定抗應變性能。石墨坩堝特點：1、石墨坩堝高的密度使得坩堝具備了導熱性能，其導熱效果明顯好。2、石墨坩堝外表有特制的釉層和致密的成型材料，大大提高了產品的耐腐蝕性能，延長其使用壽命； 3、石墨坩堝中的石墨成分全部采用天然石墨，導熱性非常好。石墨坩堝加熱后不可立刻將其置于冷的金屬桌面上，以避免它因急劇冷卻而破裂。

石墨氈因選用原氈的不同分為瀝青基石墨氈、聚丙烯腈基（PAN基）石墨氈和黏膠基石墨氈三種，主要用途是作為單晶硅冶煉爐的保溫、隔熱材料。在化學工業中可作為高純度腐蝕性化學試劑的過濾材料。以下是炭纖維硬氈與石墨纖維硬氈的區別。炭纖維的炭化溫度只有一千多度，制成炭纖維硬氈后的使用溫度也就一千多度。炭纖維在隔絕空氣下加熱到近三千度就成了石墨纖維,制成石墨纖維硬氈后的使用溫度可以達到兩千多度。如果炭纖維硬氈用于兩千多度的保溫環境下會發生變化的。

碳纖維是纖維狀的碳素材料，含碳量在90%以上。它是利用各種有機纖維在惰性氣體中、 高溫狀態下碳化而制得。碳纖維具有十分優異的力學性能，是目前已大量生產的高性能纖維中具有最高的比強度和最高的比模量的纖維，特別是在2000℃以上的高溫惰性環境中，碳材料是唯一強度不下降的物質，是其他主要結構材料(金屬及其合金)所無法比擬的。除了優異的力學性能外，碳纖維還兼具其他多種優良性能，如低密度、耐高溫、耐腐蝕、耐摩擦、抗疲勞、震動衰減性高、電及熱傳導性高、熱膨脹系數低、X光穿透性高，非磁體但有電磁屏蔽性等。

石墨氈因選用原氈的不同分為瀝青基石墨氈、聚丙烯腈基（PAN基）石墨氈和黏膠基石墨氈三種，主要用途是作為單晶硅冶煉爐的保溫、隔熱材料。在化學工業中可作為高純度腐蝕性化學試劑的過濾材料。工藝將聚丙烯腈基炭氈或黏膠基炭氈裁成所需尺寸，卷成筒狀裝入石墨材料做的容器內，將石墨容器置于高溫爐內(高溫爐為石墨管爐、中頻、高頻感應爐或其他加熱形式的高溫爐)，用抽真空或通高純惰性氣體保護，以100～300℃/h的升溫速率加熱到2200～2500℃，再自然冷卻至100℃即得。

真空爐保溫是利用熱媒水的相變進行熱交換的，燃料燃燒釋放出的熱量被熱媒水吸收，當溫度上升至某真空狀態下的飽和溫度時，蒸發成飽和和蒸汽，完成第一次相變過程。凝結水流進蒸發室繼續吸熱，完成相變循環。真空熱水鍋爐的下部結構由燃燒室和傳熱管束組成；上部為真空室，其中插入了U型管熱交換器；真空室外接抽氣單元，使真空室保持穩定的真空度，并將真空室內不凝結氣體抽出，提高U型熱交換器的換熱效率。