增強復合硬氈、石墨硬氈（通用叫法也有叫碳纖維復合硬氈、固化氈等）是一種采用特殊工藝將石墨紙、聚丙烯腈基碳氈、聚丙烯腈基碳布全為一體，經固化成型后，一次、二次高溫處理制得，它的抗燒蝕性能、抗熱震性能、耐氣流沖刷和隔熱保溫性能都很優越。具有傳統保溫材料所不具有的剛性、自支撐性、高強度、無短纖脫落、熱導系數低等優點，主要用于真空、及各類冶金工業爐（單晶生長爐、多晶鑄造爐、多晶還原爐、多晶鑄錠爐、高壓氣淬爐、熱等靜壓爐、熱平衡爐、低壓燒結爐、加壓真空燒結爐等，?廣泛應用于國防、冶金、化工等行業。尤其是隨著多晶硅、單晶硅產業的高速發展，作為高溫爐熱場隔熱理想材料，優質硬質碳纖維氈的需求更是達到了前所未有的高度?。

真空爐使用維護操作規程，建立真空爐運行記錄和修理檔案，統計運行累積工作時間，加強真空爐日常維護，掌握設備技術狀態變化趨勢，及早發現故障損壞苗頭，避免屬于事故搶修性質的維修，并根據真空爐工作負荷和運行狀況，提前有針對性地準備真空爐修理用零部件，編制真空爐運行維護方案。碳纖維硬氈如真空爐加熱元件的使用壽命長短與工作溫度、真空爐內產品介質、產品數量及操作情況等許多因素有關，在每天24小時加工生產的情況下，真空爐加熱元件和隔熱屏的更換大約每兩三年進行一次．這取決于釬焊工作的類型和使用次數。碳纖維硬氈工廠真空爐一般在春秋季節泄漏故障較多，長期閑置的真空爐在才次使用時真空爐泄漏故障比較易發生。

真空系統檢漏時，除臨時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。

真空爐保溫的溫度控制系統采用控溫精度為百分之零點一的智能化溫度控制儀表，按產品工藝曲線編制計算機控制程序控制真空爐的升溫、保溫、降溫過程、溫度控制儀表的運行，停止由PC機自動控制，實現工藝曲線溫度控制的技術要求。溫度控制系統可設定，存貯多條控溫曲線，每條曲線可分為多段控制，每條溫控曲線均具有任選的PID參數，自調諧功能，以保證升溫無超調，系統可適合多種分度號熱電偶和預先設定升溫保溫曲線。溫控儀輸出4-20mA電流信號給觸發單元，觸發單元把電流信號變為電壓信號，其輸出控制勵磁回路的直流電壓電流，從而控制了磁調的電壓電流，保證真空爐按設定的曲線加熱和保溫。完成溫度控制，真空下溫度的傳感和控制技術是真空熱處理工藝及裝備的關鍵技術之一，使用真空爐的過程須好好掌握。