真空爐保溫的加熱元件有金屬和非金屬之分，分別敘述如下。金屬加熱元件 通常分為兩種：一種為貴重金屬，如鉬、鉑、鎢、鉭等;另一類為一般金屬，如鎳鉻耐熱合金、鐵鉻鋁合金、鉬鎢合金等。非金屬加熱元件 有石墨和化合物兩種。化合物有碳化硅、硅化鉬、二氧化鉬等。其中碳化硅在高溫下易黏結分解，而二氧化鉬在1300℃時會軟化。只有石墨具有加工性能好、耐高溫、耐急冷急熱性好、塑性好、輻射面積大、抗熱沖擊性能好等特點，適于制作加熱元件。

碳纖維既有碳材料的固有特性，又兼備紡織纖維的柔軟可加工性，是先進復合材料最重要的增強材料，已在軍事及民用工業的各個領域取得廣泛應用，從航天、航空、汽車、電子、機械、化工、輕紡等民用工業到運動器材和休閑用品等。碳纖維被認為是高科技領域中新型工業材料的典型代表，為世人所矚目。碳纖維產業在發達國家支柱產業升級乃至國民經濟整體素質提高方面，發揮著非常重要的作用，對我國產業結構的調整和傳統材料的更新換代也有重要意義，對國防軍工和國民經濟有舉足輕重的影響。我國至今沒能實現大規模工業化生產，工業及民用領域的需求長期依賴進口，嚴重影響了我國高技術的發展，尤其制約了航空航天及國防軍工事業的發展，與我國的經濟社會發展進程極不相稱。

碳纖維繩是用碳纖維制成的繩，簡稱碳繩。以聚丙烯腈基碳繩為例，常用直徑2.0，每米重量1.8g，最小拉伸載荷100N，最大環扣強度100N，最小環扣強度60N，灰分含量<0.5%，是一種耐高溫材料，其導電性優良。主要用途：制法是根據用戶要求制成碳股繩或編織繩。碳繩是真空爐保溫隔熱材料的必備配料，還可用作導電電極等。已廣泛應用于各種不同類型負離子導電電極、真空爐隔熱層炭氈捆扎、縫制、化工，石油，食品機械，醫療機械醫用器材，土木建筑，電子儀器等領域。也可根據用戶要求制成2-12股碳繩或編織圓繩。

碳纖維是纖維狀的碳素材料，含碳量在90%以上。它是利用各種有機纖維在惰性氣體中、 高溫狀態下碳化而制得。碳氈碳纖維具有十分優異的力學性能，是目前已大量生產的高性能纖維中具有最高的比強度和最高的比模量的纖維，特別是在2000℃以上的高溫惰性環境中，碳材料是唯一強度不下降的物質，是其他主要結構材料(金屬及其合金)所無法比擬的。碳氈廠家除了優異的力學性能外，碳纖維還兼具其他多種優良性能，如低密度、耐高溫、耐腐蝕、耐摩擦、抗疲勞、震動衰減性高、電及熱傳導性高、熱膨脹系數低、X光穿透性高，非磁體但有電磁屏蔽性等。

真空系統檢漏時，除臨時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。