真空系統檢漏時，除臨時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化定做硬氈。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。硬氈找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。

碳纖維繩是用碳纖維制成的繩，簡稱碳繩。以聚丙烯腈基碳繩為例，常用直徑2.0，每米重量1.8g，最小拉伸載荷100N，最大環扣強度100N，最小環扣強度60N，灰分含量<0.5%，是一種耐高溫材料，其導電性優良。主要用途：制法是根據用戶要求制成碳股繩或編織繩。碳繩是真空爐保溫隔熱材料的必備配料，還可用作導電電極等。已廣泛應用于各種不同類型負離子導電電極、真空爐隔熱層炭氈捆扎、縫制、化工，石油，食品機械，醫療機械醫用器材，土木建筑，電子儀器等領域。也可根據用戶要求制成2-12股碳繩或編織圓繩。

真空爐保溫是利用熱媒水的相變進行熱交換的，燃料燃燒釋放出的熱量被熱媒水吸收，當溫度上升至某真空狀態下的飽和溫度時，蒸發成飽和和蒸汽，完成第一次相變過程。凝結水流進蒸發室繼續吸熱，完成相變循環。真空熱水鍋爐的下部結構由燃燒室和傳熱管束組成；上部為真空室，其中插入了U型管熱交換器；真空室外接抽氣單元，使真空室保持穩定的真空度，并將真空室內不凝結氣體抽出，提高U型熱交換器的換熱效率。

石墨坩堝以天然鱗片石墨為主體原料，以可塑性耐火粘土或炭質為粘結劑加工而成，具有耐高溫、導熱性能強、抗腐蝕性能好，使用壽命長等特點。在高溫使用過程中，熱膨脹系數小，對急冷、急熱具有一定抗應變性能。對酸性、堿性溶液抗蝕性較強，具有優良的化學穩定性，在熔煉過程中不參與任何化學反應。石墨坩堝內壁平滑，被熔化的金屬液體不易滲漏和粘附在坩堝內壁，使金屬液體有良好的流動性和澆鑄性，適用于各種不同模具澆鑄成型。由于石墨坩堝具有以上優良特性，被廣泛用于合金工具鋼冶煉和有色金屬及其合金的冶煉。

真空淬火（回火、退火）就是通過把材料或零件在真空狀態下按工藝規程加熱、冷卻來達到預期性能的一種處理方法。真空釬焊即在真空狀態下，把一組焊接件加熱到填充金屬熔點溫度以上，但低于基體金屬熔點溫度，借助于填充金屬對基體金屬的濕潤和流動形成焊縫的一種焊接工藝。（釬焊溫度因材料不同而異）真空燒結即在真空狀態下，把金屬粉末制品加熱，使相鄰金屬粉末晶粒通過粘著和擴散作用而燒結成零件的一種方法。真空加磁主要適用于金屬材料加磁處理。