真空爐保溫是由爐體、真空機組、液壓系統、控制系統、冷卻系統等幾部分組成的，對于氣冷真空爐要具備氮氣儲氣罐，為防止停水或水壓不足等要備有高空水槽，防止因停水而燒壞或燒蝕密封件、電極等。真空爐的爐體和爐門由高強度鋼板焊按而成，為雙層水套結構形式，爐門由齒輪、齒條傳動開啟和關閉，靈活方便。加熱室是圓形結構，石墨管狀加熱器和冷卻氣體噴嘴沿加熱室的周圍成360度均勻分布，高級碳氈及柔性石墨紙作為保溫材料，結構輕巧固定。真空爐根據加熱的形式可分為外熱式和內熱式兩種。內熱式是真空爐生產廠家的首選爐型，按結構的不同可分為單室、雙室、三室以及連續式等真空爐，有氣冷、油冷和氣油兩用爐。

碳纖維硬氈保溫材料具有優異的保溫性能且使用壽命長，尤其在高溫下，在真空或者惰性氣體中使用時，耐熱溫度可達2400℃。此外，產品具有自重輕，低熱膨脹系數，低吸熱性，低放氣量等特性，在高端設備領域正在被越來越廣泛的使用。應用領域：工業真空爐、高純硅氫化爐、藍寶石、光纖的結晶爐、單晶硅生長爐、多晶硅鑄錠爐。

隨著碳纖維復合材料應用領域的不斷擴大，其廢棄物的回收問題也引發了一定的關注。在污染和資源浪費日益嚴重的情況下，應該從復合材料應用的最初階段就開始重視材料的選擇以及回收利用成本，這有利于從整體上降低回收成本并減少環境中的廢棄物。國內率先推廣連續碳纖維增強熱塑性復合材料應用建議：碳纖維增強復合材料零部件的應用方應從復合材料的樹脂基體考慮，在使用性能得到保證的前提下，盡量采用熱塑性樹脂作為復合材料基體，這將利于碳纖維的回收和循環利用。

真空爐保溫的加熱元件有金屬和非金屬之分，分別敘述如下。碳纖維金屬加熱元件 通常分為兩種：一種為貴重金屬，如鉬、鉑、鎢、鉭等;另一類為一般金屬，如鎳鉻耐熱合金、鐵鉻鋁合金、鉬鎢合金等。非金屬加熱元件 有石墨和化合物兩種。定做碳纖維化合物有碳化硅、硅化鉬、二氧化鉬等。其中碳化硅在高溫下易黏結分解，而二氧化鉬在1300℃時會軟化。只有石墨具有加工性能好、耐高溫、耐急冷急熱性好、塑性好、輻射面積大、抗熱沖擊性能好等特點，適于制作加熱元件。

真空系統檢漏時，除臨時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。