真空淬火（回火、退火）就是通過把材料或零件在真空狀態下按工藝規程加熱、冷卻來達到預期性能的一種處理方法。真空釬焊即在真空狀態下，把一組焊接件加熱到填充金屬熔點溫度以上，但低于基體金屬熔點溫度，借助于填充金屬對基體金屬的濕潤和流動形成焊縫的一種焊接工藝。（釬焊溫度因材料不同而異）真空燒結即在真空狀態下，把金屬粉末制品加熱，使相鄰金屬粉末晶粒通過粘著和擴散作用而燒結成零件的一種方法。真空加磁主要適用于金屬材料加磁處理。

石墨具有良好的化學穩定性。經過特殊加工的石墨，具有耐腐蝕、導熱性好，滲透率低等特點，就大量用于制作熱交換器，反應槽、凝縮器、燃燒塔、吸收塔、冷卻器、加熱器、過濾器、泵設備。廣泛應用于石油化工、濕法冶金、酸堿生產、合成纖維、造紙等工業部門，可節省大量的金屬材料。作鑄造、翻砂、壓模及高溫冶金材料：由于石墨的熱膨脹系數小，而且能耐急冷急熱的變化，可作為玻璃器的鑄模，使用石墨后黑色金屬得到鑄件尺寸準確，表面光潔成品率高，不經加工或稍作加工就可使用，因而節省了大量金屬。生產硬質合金等粉末冶金工藝，通常用石墨材料制成壓模和燒結用的瓷舟。單晶硅的晶體生長坩堝，區域精煉容器，支架夾具，感應加熱器等都是用高純石墨加工而成的。此外石墨還可作真空冶煉的石墨隔熱板和底座，高溫電阻爐爐管，棒、板、格棚等元件。

真空爐保溫材料一般是指熱系數小于或等于0.12的材料。爐體內保溫材料保溫材料發展很快，在工業和建筑中采用良好的保溫技術與材料，往往可以起到事半功倍的效果。建筑中每使用一噸礦物棉絕熱制品，一年可節約一噸石油。傳統的保溫隔熱材料是以提高氣相空隙率，降低導熱系數和傳導系數為主。溫州爐體內保溫材料工廠纖維類保溫材料在使用環境中要使對流傳熱和輻射傳熱升高，必須要有較厚的覆層；而型材類無機保溫材料要進行拼裝施工，存在接縫多、有損美觀、防水性差、使用壽命短等缺陷。為此，人們一直在尋求與研究一種能大大提高保溫材料隔熱反射性能的新型材料。

真空爐維修好后的使用初期要經常進行檢查，檢查使用后的真空爐表溫度和爐子實際溫度是否一致，檢查三相加熱體是否存在過熱損傷情況、溫度不均或發白等現象。對于三相高溫真空爐，以及真空電阻爐容量超過100kW時，每相、每一個加熱區都應安裝有電流表，發現真空爐溫與儀表指示不正常，及時分析處理。不能超負荷使用真空爐，真空爐保溫的使用溫度是指元件在真空中允許的本身表面溫度，并不是指加熱物質的溫度或加熱元件周圍的溫度。要注意真空電熱元件本身的溫度一股比它周圍的介質溫度或被加熱溫度高100℃。要避免加熱元件和產品發生反應，尤其足銅、鋁、鋅、錫、鉛等與真空加熱元件接觸，無論是細粉、熔液或蒸汽等，防止在電加熱體表面侵蝕形成“麻坑”，截面變小，最后過熱而燒斷。