真空系統檢漏時，除臨時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。

真空爐保溫的溫度控制系統采用控溫精度為百分之零點一的智能化溫度控制儀表，按產品工藝曲線編制計算機控制程序控制真空爐的升溫、保溫、降溫過程、溫度控制儀表的運行，停止由PC機自動控制，實現工藝曲線溫度控制的技術要求。溫度控制系統可設定，存貯多條控溫曲線，每條曲線可分為多段控制，每條溫控曲線均具有任選的PID參數，自調諧功能，以保證升溫無超調，系統可適合多種分度號熱電偶和預先設定升溫保溫曲線。溫控儀輸出4-20mA電流信號給觸發單元，觸發單元把電流信號變為電壓信號，其輸出控制勵磁回路的直流電壓電流，從而控制了磁調的電壓電流，保證真空爐按設定的曲線加熱和保溫。完成溫度控制，真空下溫度的傳感和控制技術是真空熱處理工藝及裝備的關鍵技術之一，使用真空爐的過程須好好掌握。

真空爐保溫的加熱元件有金屬和非金屬之分，分別敘述如下。金屬加熱元件 通常分為兩種：一種為貴重金屬，如鉬、鉑、鎢、鉭等;另一類為一般金屬，如鎳鉻耐熱合金、鐵鉻鋁合金、鉬鎢合金等。非金屬加熱元件 有石墨和化合物兩種。化合物有碳化硅、硅化鉬、二氧化鉬等。其中碳化硅在高溫下易黏結分解，而二氧化鉬在1300℃時會軟化。只有石墨具有加工性能好、耐高溫、耐急冷急熱性好、塑性好、輻射面積大、抗熱沖擊性能好等特點，適于制作加熱元件。

硬質復合氈保溫筒，主要用于真空燒結爐、硬質合金燒結爐等，夾層或雙面均可貼石墨紙，強度高、保溫效果好、壽命長！適用溫度為1300-2600度！采用炭纖維布、柔性石墨紙、炭氈或石墨氈材料經特殊工藝粘合、固化、定型，二次高溫熱處理制得，具有一定的形狀保持性、自支撐性、比重小、無短纖脫落、熱導系數低、抗熱震性、耐燒蝕、使用壽命長便于安裝拆除。適用于真空高壓氣淬爐、真空燒結爐、加壓真空燒結爐。貼面材料主要有布基和紙基兩種。

碳纖維復合材料的成型工藝多達數十種，其中熱壓罐工藝是應用較多、最為常見的一種成型方式。將碳纖維預浸料按鋪層要求鋪放于模具上，將毛坯密封在真空袋后放置于碳纖維熱壓罐中。在真空狀態下，經過熱壓罐設備升溫、加壓、保溫、降溫和卸壓等程序，利用熱壓罐內同時提供的均勻溫度和均布壓力實現固化，從而可以形成表面與內部質量高、形狀復雜、面積巨大的碳纖維復合材料制件。

碳纖維是目前已大量生產的高性能纖維中具有比強度和比模量的纖維，作為一種高性能纖維材料，作為一種優異的增強材料，碳纖維與樹脂等基體材料的融合，能夠提高材料的強度、剛度、減振性、導熱性等其它優異性能，碳纖維復合硬氈材料是復合材料家族中應用最廣泛的一種，逐漸成為現代高新技術領域最優應用前景的一種復合硬氈材料。我們知道碳纖維復合硬氈材料具有優異的力學性能，這表現在碳纖維的強度方面。根據受力種類，碳纖維的強度可分為四種，抗壓強度、抗拉強度、抗彎強度、抗剪切強度，碳纖維復合硬氈材料的抗壓強度和抗彎強度在1100MPa以上，抗拉強度達到3000MPa以上，碳纖維復合硬氈材料的層間剪切力也達到了100MPa，而一般碳纖維制品都是采用多層碳纖維預浸料鋪陳。