真空系統檢漏時，除臨時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。

真空爐保溫的加熱元件有金屬和非金屬之分，分別敘述如下。金屬加熱元件 通常分為兩種：一種為貴重金屬，如鉬、鉑、鎢、鉭等;另一類為一般金屬，如鎳鉻耐熱合金、鐵鉻鋁合金、鉬鎢合金等。非金屬加熱元件 有石墨和化合物兩種。化合物有碳化硅、硅化鉬、二氧化鉬等。其中碳化硅在高溫下易黏結分解，而二氧化鉬在1300℃時會軟化。只有石墨具有加工性能好、耐高溫、耐急冷急熱性好、塑性好、輻射面積大、抗熱沖擊性能好等特點，適于制作加熱元件。

碳纖維硬氈主要有三種：聚丙烯腈基碳氈,黏膠基碳氈和瀝青慧碳氈,其中使用的較廣的是聚丙烯腈慧碳氈。我們一般說的碳纖維氈就是指聚內烯腈慧碳氈,聚丙烯腈基碳氈還可以分力兩類,聚丙烯腈基病綸碳氈和聚丙烯腈基碳氈,它們的不同點在于一個是便用腈綸制造的,還有一個是使用碳纖維原料燒制而成的,前者的作能比后者的畏差,強度,手感,灰度,限度等都是聚丙席睛基碳毯來的好。加工方式不同時話,碳纖維街的9形態也不同,有用碳纖維短切絲加工成的碳纖維拖,有用預氧化纖維絲加工成8碳纖維氈,也有將制成的碳街再次氧化碳化制成的碳纖維氈。

碳纖維具有高比強度、耐高溫、熱膨脹系數小等一系列優良特性，隨著科技的進步，真空爐保溫在新興產業中的應用越來越多，由于其對保溫材料的要求苛刻，碳纖維硬氈隔熱材料由于其優越熱工特性而成為高溫隔熱保溫的首選材料。碳纖維硬質保溫材料克服了軟氈硬化材料所存在的易分層開裂，使用壽命短等缺點，在高溫爐用隔熱保溫材料領域越來越受關注。成功掌握了碳纖維硬氈隔熱材料的生產工藝，產品在真空爐上取得了較好的應用效果。

真空爐保溫是由爐體、真空機組、液壓系統、控制系統、冷卻系統等幾部分組成的，對于氣冷真空爐要具備氮氣儲氣罐，為防止停水或水壓不足等要備有高空水槽，防止因停水而燒壞或燒蝕密封件、電極等。碳纖維保溫材料真空爐的爐體和爐門由高強度鋼板焊按而成，為雙層水套結構形式，爐門由齒輪、齒條傳動開啟和關閉，靈活方便。加熱室是圓形結構，石墨管狀加熱器和冷卻氣體噴嘴沿加熱室的周圍成360度均勻分布，高級碳氈及柔性石墨紙作為保溫材料，結構輕巧固定。定制碳纖維保溫材料真空爐根據加熱的形式可分為外熱式和內熱式兩種。內熱式是真空爐生產廠家的首選爐型，按結構的不同可分為單室、雙室、三室以及連續式等真空爐，有氣冷、油冷和氣油兩用爐。